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    真空系统中常要注意的危险气体有哪些

    发布日期:2020-07-27 作者: 点击:

    在真空应用中,不少工业领域,如化工、电子半导体工业等光大彩票平台首页,真空系统会抽除大量的有化学活性、腐蚀性、磨蚀性的气体光大彩票平台首页。这些介质气体的存在会要求真空泵等设备在运行中有更高的可靠性光大彩票平台首页。那这类危险气体典型的都有哪些?

    水杯真空泵系统

    1、氧气(O2),易燃,促进爆炸。

    2光大彩票平台首页、氢气(H2)光大彩票平台首页,在空气、氧、氯等气体中易燃易爆。

    3光大彩票平台首页、氨气(NH3),无色有强烈的刺激气味,不易燃,有毒,可灼伤人体皮肤、眼睛、呼吸器官粘膜光大彩票平台首页,吸入过多会引起肺肿胀以至死亡光大彩票平台首页。

    4、氯化铵(NH4Cl),易结块,水溶液呈弱酸性,加热时酸性增强,对黑色金属其它金属有腐蚀性,对铜腐蚀更大,同时还具有磨蚀性,可产生重粒子污染。

    5光大彩票平台首页、砷化氢(AsH3),无色剧毒可燃,半导体工业中广泛使用。

    6、三氯化硼(BCl3),无色发烟有刺激性酸味光大彩票平台首页,对人与环境有害,对真空泵以及油封泵的泵油具有腐蚀性光大彩票平台首页。

    真空系统气体

    7光大彩票平台首页、三氟化硼(BF3),无色有毒腐蚀性气体,对真空泵及油封泵的泵油具有高腐蚀性光大彩票平台首页。

    8光大彩票平台首页、四氯化碳(CCl4),也就是R14光大彩票平台首页,不燃光大彩票平台首页,有毒,可产生烃油聚合物,会对真空泵油产生污染光大彩票平台首页。

    9、四氟化碳(CF4)光大彩票平台首页,一种卤代烃光大彩票平台首页,无色无味不燃,但在等离子环境中能形成HF。

    10、氯气(Cl2)光大彩票平台首页,有毒并具有强烈的刺激味光大彩票平台首页,能产生烃油聚合物,与氢混合可发生爆炸光大彩票平台首页。

    11光大彩票平台首页、二氯甲硅烷(SiH2Cl2),无色、易燃和有毒,遇水能生成盐酸。

    12光大彩票平台首页、氯化氢(HCl),水溶液就是盐酸光大彩票平台首页,无色有窒息性的气味,不易燃,具有腐蚀性光大彩票平台首页。

    13、氟化氢(HF),无色有刺激性气味,具有很强的腐蚀性。液态的HF是酸性非常强,可质子化硫酸与硝酸,极易挥发遇水激烈放热形成氢氟酸,操作时需特别注意。

    水杯真空泵系统

    14、二氧化氮(NO2),黄褐色液体或棕红色气体,具有强烈毒性,与水反应生成硝酸和一氧化氮。

    15、氧化二氮(N2O),也就是俗称的“笑气”,无色有甜味气体光大彩票平台首页,是一种氧化剂,可助燃。

    16光大彩票平台首页、磷化氢(PH3),无色光大彩票平台首页、剧毒、易燃光大彩票平台首页,微溶于水并呈弱碱性。

    17光大彩票平台首页、硅烷(SiH4),一种提供硅组分的气体源,易在空气中燃烧光大彩票平台首页。

    18光大彩票平台首页、二氧化硅(SiO2),主要是有很强的磨蚀性光大彩票平台首页。

    19光大彩票平台首页、四氮化硅(SiN4),可产生微粒污染光大彩票平台首页。

    真空介质气体

    20、四氯化硅(SiCl4),无色透明液体,纯度稍低的呈现微黄或者淡黄色,有窒息性气味,在潮湿空气中水解而成硅酸和氯化氢,在等离子体中可产生氯化物光大彩票平台首页。

    21光大彩票平台首页、四氟化硅(SiF4)光大彩票平台首页,无色、有毒、有刺激性臭味的气体,在空气中可分解形成氧化硅。

    22、三氯氟化甲烷(CCl3F),即R13,无色液体或气体,有醚味,对水体及大气产生破坏,可产生烃油聚合物。

    这些气体或反应生成物,在真空系统中当达到一定浓度是都是危险的,因此在处理与抽除时都需要特别小心!

    本文网址:http://www.ehigus.com/news/471.html

    相关标签:水杯真空泵系统,真空系统气体,真空介质气体

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