您好!欢迎光临广州恒泽真空设备有限公司
业务咨询电话:020-32214603
企业名称:广州恒泽真空设备有限公司
联系人:李先生
电话:020-32214603
手机:13711564848
传真:020-32203288
网址:www.ehigus.com
地址:广州市黄埔区茅岗路302号
不同的行业,不同的使用环境及工艺条件的要求对于真空泵的要求也不一样,因此 真空泵的结构型号有严格的要求:
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度光大彩票平台首页,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围光大彩票平台首页,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内光大彩票平台首页,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好光大彩票平台首页。
3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量光大彩票平台首页。
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求光大彩票平台首页,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵光大彩票平台首页,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来光大彩票平台首页,便会使真空装置得到较好的真空度光大彩票平台首页。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压光大彩票平台首页,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求光大彩票平台首页。若设备严格要求无油时光大彩票平台首页,应该选各种无油泵,如:水环泵光大彩票平台首页、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格光大彩票平台首页,可以选择有油泵光大彩票平台首页,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
6、了解被抽气体成分光大彩票平台首页,气体中含不含可凝蒸气,有无颗?;页?,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分光大彩票平台首页,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
8光大彩票平台首页、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
9、真空泵的价格、运转及维修费用。